地面三维扫描仪体系的精度包括了数据获取的单点丈量精度、视点精度、外表模型的精度、标靶的精度、双轴补偿器的精度等。国内学者关于扫描仪的精度方针，已经有了一些探求。
如上所述，三维激光扫描体系的特色和优势并不在于单点丈量，而在于经过对“面丈量”中的很多的数据进行计算建模，形成外表模型。以上图图为例，显现的是具有不同单点丈量精度的扫描仪对同一个平面（实线部分）进行扫描获取的一些丈量点。左边是高规模噪音，右边是低规模噪音。
一般三维激光扫描体系都会标识出标靶精度。标靶是一种特别资料制造或特别图画的方针物，有球形和平面两种。三维激光扫描体系经过对该方针的辨认、计算和拟合，可以获得比普通方针单点丈量更高的单点精度。
扫描仪的双轴补偿器精度与全站仪一样，别离指仪器在没有彻底整平的情况下，经过双轴补偿器反馈回的歪斜视点，在一定的规模内改正差错，精确丈量。一般包括补偿器分辨率和补偿规模两项。比方某扫描仪的双轴补偿器分辨率是0.3″，补偿规模是±14′。双轴补偿器并不是所有的扫描仪都具有。关于具有双轴补偿器的扫描仪而言，一般可选择打开或封闭。